核心參數（2026 年 1 月）

關鍵特性

1. 無油潔凈：多級羅茨結構無油污染，適配半導體晶圓、光伏電池片等對潔凈度要求高的制程。

2. 空冷免維護：無需水冷系統，減少管路與維護成本，適合無水或空間受限場景。

3. 低噪節能：56 dB (A) 運行噪音，極限壓力下功耗低至 1.1 kW，長期運行成本優勢顯著。

4. 接口兼容：NW40 接口適配多數真空設備，氣鎮功能可處理少量水汽，提升工況適配性。

5. 穩定可靠：非接觸式轉子設計，磨損小、壽命長，適合連續運行的產線或實驗環境。

典型應用場景

• 半導體：晶圓清洗、光刻膠涂覆、PECVD 等前道制程的真空環境維持。

• 光伏：電池片沉積、等離子體刻蝕等潔凈真空環節。

• 分析儀器：質譜儀、電子顯微鏡、真空干燥箱的真空源供給。

• 材料研發：真空鍍膜、濺射、離子注入等實驗設備的配套真空系統。

• 工業制造：電子元器件封裝、精密焊接等低污染真空場景。

采購與配套要點

配套建議

• 真空管道：采用 NW40（KF40）法蘭，配金屬密封圈確保密封性能。

• 電源配置：三相 200?240 VAC，預留 3 kVA 供電容量，避免電壓波動影響運行。

• 維護周期：建議每 6 個月檢查濾芯、消音器，每年進行一次全面保養與性能校準。

1. 選型對比

   | 型號 | 抽速（L/min）| 極限壓力（Pa）| 功率（kW）| 適用場景 |

   | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- |

   |EV?SA20|1670|3.0/5.0|1.5 | 小型分析儀器、實驗室小腔體 |

   |EV?SA30|3300|3.0/5.0|1.5 | 中型產線、光伏 / 半導體中小腔體 |

   |EV?SA50|5000|3.0/5.0|1.5 | 大型腔體、高抽速需求的制程線 |