核心參數(shù)與規(guī)格

核心優(yōu)勢

• 分離式設計：傳感器直插真空腔 / 管路，轉(zhuǎn)換器壁掛，安裝靈活、節(jié)省空間。

• 耐用與長壽命：傳感器特殊涂層，配合保護機制，抗污染、壽命長，降低維護成本。

• 寬工況適配：無需采樣系統(tǒng)，支持自然擴散 / 0.5-5L/min 流量測量，適配真空 / 惰性 / 常壓場景。

典型應用與選型要點

• 典型場景：半導體沉積、真空爐、冶金保護氣、OLED 制造等 ppb - 常量氧含量在線監(jiān)測。

• 選型關鍵：

1. 明確量程（ppb/ppm/ 常量），匹配 T/C 型輸出；

2. 核對傳感器法蘭 / 螺紋規(guī)格（NW16/25/40 或 R3/8）與安裝空間；

3. 規(guī)避還原氣氛、高氦等比熱氣體工況，避免測量失效。