更新時間:2026-03-02
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品牌:日本 EBARA(荏原)
型號:EV?S200N(N 為標準型,P 為防腐型)
類型:多級羅茨式干式真空泵(無油)
抽氣速率:20,000 L/min(≈333 L/s)
極限壓力:0.5 Pa
電機功率:約 15 kW
材質:標準型(N),無氮氣吹掃;防腐型(P)帶吹掃
控制:標配 LCD 可編程控制器,支持預警與診斷
刻蝕、PVD/CVD 鍍膜、離子注入
晶圓工藝、Loadlock 預抽
光刻機、檢測設備
OLED/LCD 面板鍍膜、成膜
太陽能電池片鍍膜、工藝腔體真空
電子顯微鏡(SEM/TEM)
真空烘箱、脫泡、檢漏
薄膜制備、材料分析
光學鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜
卷繞鍍膜、磁控濺射
真空冷凍干燥
滅菌設備、負壓系統
分析儀器、質譜儀
蒸餾、濃縮、干燥
反應釜、脫氣、回收
鋰電池極片烘干、注液前脫氣
真空包裝、充氮包裝
肉類、熟食、電子元件防潮包裝
電容、電阻、連接器封裝
除氣、灌封、檢漏
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